產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品信息：
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低的簡易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好得使用效果和性價(jià)比。
技術(shù)參數(shù)：
◆樣品臺(tái)XYZR四維調(diào)節(jié)，XY行程根據(jù)樣品臺(tái)尺寸/晶圓尺寸而定，Z軸行程10mm，XYZ整體分辨率3μm，360°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)可鎖緊
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測(cè)試
◆整體尺寸小，方便攜帶，底部隔振地腳，提高測(cè)試穩(wěn)定性
◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌/精密燕尾槽，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì)
◆1微米以上電極/PAD使用
◆U型探針架，可以放置多個(gè)探針座
◆多被用于晶圓測(cè)試、LED測(cè)試、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、太陽能電池片測(cè)試、材料表面電阻率測(cè)試等；廣泛用于科研院校以及公
