產品介紹
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HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 3位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的完全關閉和完全開啟, 另一個電磁閥用于控制和調節閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業.
HVA 3位真空閘閥 21700 系列產品特點
1. 機械預設, 遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術參數：
閥門材質：
閥門主體
304不銹鋼
焊接波紋管軸封
AM-350
驅動軸和驅動銷
硬質不繡鋼
閥門密封方式：
高真空
氟橡膠
漏率
<2×10-9 mbar l/s
差壓關閉
1 bar
真空：
壓力范圍
高真空1x10-9 mbar
漏率
< 2x10-9 mbar l/S
差壓關閉
1 bar (任意位置)
開啟前 壓力
≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
閥門主體
150 °c
驅動方式
氣動 60 °c
使用壽命：100,000啟閉次數
公稱通徑：DN100-320 mm
美國 HVA 真空閥門-美國 真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區 指定總代理商。
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