產品介紹
型號：SD-650MH
儀器多機尺寸：長610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔體總高490mm)
工作腔室尺寸：：金篇腔體：直徑260mmX高270mm(外尺寸）
直徑210mmX高270mm(內尺寸)
靶材尺寸：室徑50mmX罩3mm(圖契材材質不司星度有所不司）
靶材料：標配一雜直徑50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金屬膜）
靶槍冷卻方式：水冷
真空系統：抗沖擊渦輪分子泵，抽速為300L/s
前級機械泵：抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器
真空測量：采用復合真空計些測真空
極限真空度：5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa)
電源：官流恒流電源：
翰入克壓：220W
輸出電壓：0-600r可話
輸出電流（沉積電流）：0- 可調
教樣臺：旋裝臺（直徑尺寸用戶可選，不能超過中150mm)
工作氣體：Ar箋管性氣體（警自備氣瓶及減壓閥）
氣路：誰射喜空度手動道整
沉積速寶：0-200nm
水冷：自循環冷卻水機
電源電壓：220V50Hz
啟動功室：3KW
保修：貳年
儀器多機尺寸：長610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔體總高490mm)
工作腔室尺寸：：金篇腔體：直徑260mmX高270mm(外尺寸）
直徑210mmX高270mm(內尺寸)
靶材尺寸：室徑50mmX罩3mm(圖契材材質不司星度有所不司）
靶材料：標配一雜直徑50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金屬膜）
靶槍冷卻方式：水冷
真空系統：抗沖擊渦輪分子泵，抽速為300L/s
前級機械泵：抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器
真空測量：采用復合真空計些測真空
極限真空度：5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa)
電源：官流恒流電源：
翰入克壓：220W
輸出電壓：0-600r可話
輸出電流（沉積電流）：0- 可調
教樣臺：旋裝臺（直徑尺寸用戶可選，不能超過中150mm)
工作氣體：Ar箋管性氣體（警自備氣瓶及減壓閥）
氣路：誰射喜空度手動道整
沉積速寶：0-200nm
水冷：自循環冷卻水機
電源電壓：220V50Hz
啟動功室：3KW
保修：貳年
