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參數(shù)：
主機(jī)規(guī)格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）
電源規(guī)格：220V(可做110V),50HZ
靶（上部電極）：50mm× （D×H）
靶材：Au（標(biāo)配），也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。
真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃115mm×100mm（D×H）
定時器：時間：3600S
機(jī)械泵：1L/S
電壓：-1200 D