產(chǎn)品介紹
腔體尺寸
石英玻璃，直徑150mm*高度130mm
供電規(guī)格
AC220V,200W
濺射電壓
MAX 2500V
濺射電流
MAX 30mA
靶材尺寸
直徑57mm,厚度 ~
適用靶材
貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金屬Cu、W、Ag、Cr等
樣品臺可調(diào)高度
20-50mm
樣品臺尺寸
直徑55mm
工作真空度
1~20Pa
氣體路數(shù)
單路
補(bǔ)氣流量
手動調(diào)節(jié)
控制
觸屏控制
真空泵
VRD-8
腔體尺寸
石英玻璃，直徑150mm*高度130mm
供電規(guī)格
AC220V,200W
濺射電壓
MAX 2500V
濺射電流
MAX 30mA
靶材尺寸
直徑57mm,厚度 ~
適用靶材
貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金屬Cu、W、Ag、Cr等
樣品臺可調(diào)高度
20-50mm
樣品臺尺寸
直徑55mm
工作真空度
1~20Pa
氣體路數(shù)
單路
補(bǔ)氣流量
手動調(diào)節(jié)
控制
觸屏控制
真空泵
VRD-8
