產(chǎn)品介紹
參數(shù)
CIS-400
外形尺寸
424*265*260MM
輸入電壓
220V/50Hz
濺射電壓
600V
工作原理
磁控濺射
功率
4507
靶材尺寸
057* (AU)
可選靶材
金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材
真空泵
直連式兩級(jí)旋片式真空泵1心/S
真空室
0128*130MM高強(qiáng)度玻璃
極限真空
1PA(電阻式真空規(guī))
抽氣節(jié)拍
≤90S
樣品杯
00樣品杯1個(gè)/025樣品杯4個(gè)/15樣品杯6個(gè)
樣品室進(jìn)氣
自動(dòng)：高精度微量進(jìn)氣閥
進(jìn)氣接頭
O4快擰接頭（外徑4M,內(nèi)徑 氣管)
江作電流
5-45MA任意可調(diào)
顆粒大小
6-10NM
保護(hù)功能
過(guò)流保護(hù)、真空保護(hù)
