產品介紹
參數
CIS-400
外形尺寸
424*265*260MM
輸入電壓
220V/50Hz
濺射電壓
600V
工作原理
磁控濺射
功率
4507
靶材尺寸
057* (AU)
可選靶材
金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材
真空泵
直連式兩級旋片式真空泵1心/S
真空室
0128*130MM高強度玻璃
極限真空
1PA(電阻式真空規)
抽氣節拍
≤90S
樣品杯
00樣品杯1個/025樣品杯4個/15樣品杯6個
樣品室進氣
自動：高精度微量進氣閥
進氣接頭
O4快擰接頭（外徑4M,內徑 氣管)
江作電流
5-45MA任意可調
顆粒大小
6-10NM
保護功能
過流保護、真空保護
