產品介紹
復合PLD設備PLD-M_水戶電工
復合PLD設備PLD-M特點簡介：
基于非常豐富銷售經驗設計，可實現穩定運行
可以組合其他濺射源和沉積源
可高達φ2英寸的大直徑基板，通過采用φ2英寸的專用燈源，可以在廣泛的壓力范圍內進行實驗，
可以選配合擇多種選項，通過安裝在大面積PLD上的分布，為φ2英寸的電路板提供均勻分布的選項。
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