隨著電子行業的快速發展，生產電子元器件過程中所產生的廢氣污染也隨之而來。在電子行業中造成環境污染有機廢氣主要是產生于芯片或線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程中。
電子廠廢氣來源與成分
電子廠廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物等。這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。所以須處理達標才能排放。
電子行業廢氣大多數都是風量大，濃度低。
電子廠廢氣成分為酸堿廢氣和有機廢氣兩大類，因此電子廢氣處理方法可先通過噴淋塔設備解決酸堿廢氣，后期再通過活性炭吸附設備或集中式靜電吸附設備處理有機廢氣部分，如果有異味，再結合UV光解除臭設備，把廢氣治理達標后排放。
1噴淋塔設備
洗滌器里的噴淋裝置將循環液逆著氣流噴酒，使廢氣中的污染物與填料表面的水接觸，因而被水吸收而轉入液相，從而實現質量傳遞過程。吸收了廢氣組分的洗滌液，流入活性污泥池中，通入空氣充氧后再生，被吸收的氣態污染物通過微生物氧化作用，被活性污泥懸浮液從液相中除去。
2）活性炭吸附設備
通過大粒徑顆粒物的重力沉降，與濾材的碰撞攔截以及濾材的表面接觸阻留等作用去除廢氣中較大粒徑顆粒物。
3）集中式靜電吸附設備
其利用靜電力實現顆粒物與氣流的分離，利用靜電力實現顆粒物與氣流的分離，主要有“荷電-沉降”兩步組成。
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