產(chǎn)品介紹
利用數(shù)字源表進(jìn)行Mini LED光電特性測(cè)試
實(shí)施Mini LED光電特性參數(shù)分析的Z佳工具之一是數(shù)字源表（SMU）。數(shù)字源表作為獨(dú)立的恒壓源或恒流源，輸出恒壓或恒流、還可以當(dāng)作表，進(jìn)行電壓或者電流測(cè)量；支持Trig觸發(fā)，可實(shí)現(xiàn)與光譜儀，探針臺(tái)，分選機(jī)等第三方設(shè)備聯(lián)動(dòng)工作。
目前，光電性能檢測(cè)是通過(guò)Mini LED點(diǎn)測(cè)機(jī)實(shí)現(xiàn)的，用于測(cè)量晶圓上每一顆芯片。點(diǎn)測(cè)機(jī)的主要結(jié)構(gòu)單元包括探針臺(tái)，電性能測(cè)試單元，光性能測(cè)試單元，以及上位機(jī)控制系統(tǒng)等。該工序根據(jù)實(shí)際情況，位于晶圓劃片前，或者后工序。設(shè)備基本構(gòu)成主要包括探針臺(tái)，電子顯微鏡，SMU，ESD，工控機(jī)，積分球，光譜儀等。其中，SMU的作用是對(duì)芯片進(jìn)行IV特性測(cè)試，同時(shí)在光學(xué)測(cè)試中，對(duì)芯片進(jìn)行供電。
常用的電性能測(cè)試項(xiàng)目包括，VF1,VF2,IR,VZ,VFD,DVF等。
⑴ VF（正向電壓）測(cè)試， FIMV： 一般會(huì)測(cè)兩個(gè)點(diǎn)， D一個(gè)點(diǎn)VF1為 LED剛點(diǎn)亮?xí)r電壓， 第二個(gè)點(diǎn)VF2為L(zhǎng)ED 正常工作時(shí)的電壓；
⑵ VZ（反向擊穿電壓）測(cè)試， FIMV：一D反向電流時(shí)，器件兩端的電壓;
⑶ IR（反向泄露電流）測(cè)試， FVMI： 一D反向電壓時(shí)， 流過(guò)器件的電流；
⑸ DVF 測(cè)試，材料熱縮效應(yīng)測(cè)試， FIMV： 對(duì)LED施加兩次不同的電流，并計(jì)算不同條件下的電壓差；
⑹ VFD 測(cè)試，正向電壓暫態(tài)峰值電壓測(cè)試， FIMV： 對(duì)LED施加一D的正向電流，同時(shí)采集電壓變化， 尖峰電壓與正常電壓的差值即為VFD；
Mini LED光電特性測(cè)試數(shù)字源表認(rèn)準(zhǔn)生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表，詳詢一八一四零六六三四七六；
