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利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧。游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子或低害的化合物。 UV光解技術可以應用于很多的工作環境，比如有噴涂、烤漆、塑料、印刷、食品、飼料、養殖、污水廠、垃圾站等行業中低濃度的VOCs有機廢氣處理，不同的行業處理效果和處理效率不相同，要達到比較好的處理效果，需要讓廢氣在設備箱體內部停留時間1.5s以上，確保廢氣可以完全凈化。