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在線式真空等離子設備 特點：1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達90拼板/小時；3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩定性及故障率得以有效控制。 用 途：IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗 在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設計要求,與常規等離子清洗系統相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。