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將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產生的O3與有機廢氣混合后，流經紫外線燈管。紫外線燈管能進一步地觸發O3的生成，同時在燈管254nm紫外線的催化作用下，O3與有機物的反應效能大幅提升，從而取得理想的處理效果。由于等離子裝置較紫外燈管高得多的臭氧產生效能，使得設備的功耗隨之降低，節能效果顯著。