產品介紹
激光器特點
l 長期工作穩定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模塊可現場更換
l TEM00基模輸出（M2< ）
l 體積小，結構緊湊
l 重復頻率30kHz-100kHz可調
應用范圍
l 薄膜蝕刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圓切割
l 科學研究等
l 激光標記
技術參數
型號
LASER355-3W
波長
355nm
功率
3W@30KHz
單脈沖能量
100μJ@30kHz
頻率
30~100kHz
脈寬
<20ns@30KHz
光斑模式
TEM00 (M2< )
光束直徑
±
功率穩定性
<3% RMS over 8 hours
脈沖穩定性
<3% RMS over 10mins
光點穩定性
<50μrad
光束發散角
<2mrad (full angle)
光斑圓度
>90%
控制方式
RS232, Gate, Trigger
制冷方式
Air-cooling
偏振方向
Horizontal
偏振比
>100:1
環境溫度
15°C ~ 35°C
相對濕度
10% ~ 80%（無結露）
預熱時間
<15mins
工作電壓
90V ~ 260V
