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硅粉微波干燥設備可用于多金晶硅、綠碳化硅 、高金硅等多種硅粉、微硅粉的微波干燥處理，微波干燥設備可將硅粉的水份干燥到 %以下。
硅粉（也叫微硅粉），硅粉又叫硅灰。是工業電爐在高溫熔煉工業硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經特殊的捕集裝置收集處理而成。在逸出的煙塵中，SiO2含量約占煙塵總量的90%，顆粒度非常小，平均粒度幾乎是納米級別，故稱為硅粉。