產品介紹
多晶硅無塵車間環境設施要求：
1 半導體級多晶硅還原廠房的還原爐室應按潔凈廠房進行設計，空氣潔凈度等級不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修應符合現行 標準《潔凈廠房設計規范》的有關規定。當設有通往整理廠房的連廊時，連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應與還原爐室的要求一致。
3 整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區劃分應按工藝要求設置，空氣潔凈度不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修，應符合現行 標準《潔凈廠房設計規范》的有關規定。
廠房空氣潔凈度等級、溫度、濕度的設計應滿足生產工藝要求。
存在下列情況之一時，空調系統應分開設置：
1 凈化空調系統與一般空調系統；
2 空氣中含有易燃、易爆物質；
3 容易產生交叉污染，對其他工序的產品質量造成影響；
4 對溫、濕度控制要求差別大；
5 工藝設備散熱量相差懸殊。
保證空氣潔凈度等級的送風量應符合下列規定：
1 5級～8級潔凈室送風量應符合現行 標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；
2 生產太陽能級多晶硅的還原爐室，當空調系統為三級過濾時，其送風量應按換氣次數大于或等于6次／h計算。
潔凈室送風可采用集中送風或風機過濾機組送風的方式。
潔凈空調送風、回風和排風系統的啟閉應連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；關閉時連鎖程序應相反。
還原車間應獨立設置直流空調送風系統，不應回風。
腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調送風系統不宜回風。
潔凈空氣調節系統的新風集中處理時，新風處理機組應符合下列規定：
1 新風應經過粗效過濾器處理；
2 嚴寒地區新風應先預熱；
3 送風機宜采取變頻措施。
空氣過濾器選用、布置應符合下列規定：
1 空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級選用過濾器；
2 空氣過濾器處理風量不應大于額定風量；
3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調系統的正壓段；
4 亞GX和GX過濾器宜設置在凈化空調系統的末端。
風機過濾機組的設置應符合下列規定：
1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；
2 送風量應能調節；
3 應便于安裝、維修及過濾器更換。
