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四氫化鍺（Germane），也稱為鍺烷，是一種化學試劑、可用于制取高純度鍺。分子式為GeH4，分子量為 。甲鍺烷在較高溫度下時分解為鍺和氫氣。這種對熱不穩(wěn)定性被用于半導體工業(yè)中，即有機金屬化學氣相沉積（MOVPE）。由于甲鍺烷毒性較大，某些有機鍺化合物（如異丁基鍺）可以替代甲鍺烷，應用于MOVPE中。