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一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。 一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。