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內部過濾
    內部過濾一般應用在低真空度場合，這些設備需要潤滑油來潤滑活動部件，例如劃片泵。真空油分直接安裝在真空泵內部，分離排氣中的油份。因此，可以去除全部的油霧和油煙。從氣體中分離出的油份回到真空泵的油潤滑循環系統得到再利用，以節約成本。
出口過濾
    排氣過濾器用于沒有內部油分離器的有油潤滑真空泵，也應用在內部有油分的真空泵，采用活性炭材料，去除排氣中異味，保護工作環境。