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精度提高5~10倍： 氣浮轉臺旋轉精度提高10倍，達到 微米；X軸和Z軸全程氣浮位移臺直線精度提高5倍，達到±1微米以內。
承載提高兩倍： 氣浮轉臺和X、Y氣浮位移臺承載余量很大，是傳統滾動軸承、動靜壓液浮、靜壓液浮承載的兩倍以上。 電機需要克服慣性和加大余量，額定承載比傳統形式稍大。
皮實耐用無限壽命：超大承載余量、終身免保養、幾乎無限壽命、適應各種環境、適應各
種溫度。移動速度快、效率高。
干凈環保靜音節能： 靜音工作；除切削液循環系統，省掉各種液壓和冷卻系統；總功率大
幅減小，有效功率增加。