產品介紹
MITO DENKO水戶電工MBE-260_MBE裝置
MBE裝置MBE-260概要：
水戶電工MBE設備是超高真空裝置，可以用從外部引入的激光在真空中激發，并將材料沉積在襯底上。
MBE裝置MBE-260規格參數：
Configure Spec
Processing room
and vacuum exhaust system Chamber Sharpφ260mm Spherical SUS
Reaching vacuum Less ×10-7Pa (5×10-9Torr)
Ceramic bearing
turbo pump 250L/s
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