產品介紹
STK-7050半自動晶圓切割膜貼膜機 衡鵬
STK-7050半自動晶圓切割膜貼膜機特點：
自動滾軸貼膜技術；
手動放置和取出晶圓/承載環；
自動膠膜進給和貼膜；
自動收隔離紙，適用于UV膜和非UV膜；
自動圓形切刀切割膜；
自動撕膜，收廢膜 (選項)；
晶圓臺盤溫度可編程控制，MAX可達120℃；
標準 12”晶圓臺盤用于 12”晶圓，可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤；
PLC 控制，帶 7”觸摸屏；
配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控；
STK-7050半自動晶圓切割膜貼膜機規格參數：
貼膜原理：自動滾軸貼膜技術；
晶圓直徑：12”；
晶圓厚度：100~750 微米；
晶圓種類：正常的 V 型缺口晶圓；
膜種類：藍膜、UV 膜；
320 毫米 UV/非 UV 膜；
長度：100 米；
厚度： ~ 毫米；
晶圓承載環：12”DISCO 或者 K&S 標準；
貼膜定位精度：±1mm；
裝卸方式：手動晶圓/承載環放置與取出；
防靜電控制：去離子風扇；
臺盤溫度：室溫~ 120℃，可編程控制；
切割系統：環型切刀用于 12”DISCO 承載環；
控制單元：基于 PLC 控制，帶 7”觸摸屏；
安全防護：配置光簾保護和緊急停機按鈕；
電源電壓：單相交流電 220V,16A；
壓縮空氣： 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 立方英尺；
機器結構：全鋁型材制造，堅固耐用；
機器外殼：白色噴塑金屬外殼；
體積：800 毫米(寬)*1450 毫米(深)*1980 毫米(高)；
凈重：350 公斤；
半自動晶圓切割膜貼膜機性能：
晶圓收益：≥ %；
貼膜質量：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時產能：≥80 片晶圓；
MTBF：>500 小時；
MTTR：<1 小時；
停機時間：<3%；
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