產(chǎn)品介紹
小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂
小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SSCR3090S系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，
有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機(jī)械手臂
全軸使用2相步進(jìn)電機(jī)
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指
小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達(dá)距離 175mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸MAX行程 150mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 (只包含被搬運(yùn)物體)(手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
防水式/真空3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂
帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的/防水式/水平多關(guān)節(jié)型4晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂
水平多關(guān)節(jié)型/真空5軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手
