產(chǎn)品介紹
衡鵬代理商-晶圓研磨機(jī)GNX200BH
晶圓研磨機(jī)GNX200BH適用于硬質(zhì)材質(zhì)減薄：
晶圓減薄機(jī)GNX200BH是一臺可研磨超硬材料的全自動減薄設(shè)備，采用大功率主軸和高剛性鑄件，可以大幅縮小加工公差。
GNX200BH在應(yīng)對SiC碳化硅晶圓、GaN氮化鎵晶圓等新型堅硬材料為原材料的晶圓減薄/研磨/研削時表現(xiàn)好。
衡鵬代理晶圓研磨機(jī)GNX200BH規(guī)格：
項目 參數(shù)
主軸 雙研磨主軸
工作盤 三個工作盤
晶圓材質(zhì) 碳化硅、氮化鎵、硅、玻璃、微機(jī)械系統(tǒng)、等…
功率 8P
尺寸 1350 mm x 2515mm x 1841mm
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