產(chǎn)品介紹
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)STK-6050 衡鵬供應(yīng)
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)是柔性滾輪貼膜/適用于8”-12”晶圓。
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)STK-6050特點(diǎn):
8”- 12”晶圓適用;
自動(dòng)膠膜進(jìn)給及貼膜;
手動(dòng)晶圓上下料;
自動(dòng)切割膠膜,省力;
藍(lán)膜、UV 膠膜可選;
PLC+觸摸屏;
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)STK-6050規(guī)格:
晶圓直徑:8”- 12”晶圓;
晶圓厚度:100~750 微米;
膜種類:藍(lán)膜或者 UV 膜;
貼膜方法:滾輪貼膜;
晶圓臺(tái)盤(pán):接觸式晶圓臺(tái)盤(pán);
晶圓放置精度:X-Y: +/- 毫米; Θ : +/- °;
裝卸方式:手動(dòng)晶圓放置與取出;晶圓在位置檢測(cè);
防靜電控制:去離子風(fēng)扇;
切割系統(tǒng):自動(dòng)刀;
控制單元:基于 PLC 控制, ”觸摸屏;
電源電壓:?jiǎn)蜗嘟涣麟?220V,10A;
壓縮空氣:60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 立方英尺;
安全:配置安全光簾和緊急停機(jī)開(kāi)關(guān);
體積:950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ;
凈重:300 公斤;
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