產(chǎn)品介紹
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650 衡鵬瑞和
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)是專利設(shè)計(jì)的柔性滾輪貼膜/適用于4”- 8”晶圓。
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650特點(diǎn)：
4”- 8”晶圓適用；
自動(dòng)膠膜進(jìn)給及貼膜；
手動(dòng)晶圓上下料；
自動(dòng)切割膠膜，省力；
藍(lán)膜、UV 膠膜可選；
PLC+觸摸屏；
配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控；
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650規(guī)格：
晶圓直徑：4”- 8”晶圓；
晶圓厚度：100~750 微米；
單平邊,雙平邊,V 型缺口；
膜種類：藍(lán)膜或者 UV 膜；
貼膜方法：滾輪貼膜；
晶圓臺(tái)盤：接觸式晶圓臺(tái)盤；
防靜電控制：去離子風(fēng)扇；
體積：950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ；
凈重：300 公斤；
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥ %；
貼膜品質(zhì)：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
Cycle Time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料時(shí)間）；
MTBF：>168 小時(shí)；
MTTR：<1 小時(shí)；
停機(jī)時(shí)間： <3%；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 10 分鐘
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