產(chǎn)品介紹
Wafer Debonder晶圓臨時(shí)鍵合
晶圓臨時(shí)鍵合應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合/解鍵合（wafer bonder/wafer debonder)工藝。
Wafer Debonder晶圓臨時(shí)鍵合特點(diǎn)：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，可應(yīng)對(duì)薄晶圓臨時(shí)鍵合。
晶圓臨時(shí)鍵合智能測(cè)繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
晶圓臨時(shí)鍵合可對(duì)已鍵合晶圓進(jìn)行自動(dòng)校正
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實(shí)現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding)
晶圓臨時(shí)鍵合配有高精度機(jī)械手，可自動(dòng)撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜
解鍵合機(jī)可自動(dòng)為晶圓貼覆切割膜
可選配嵌入式紫外線照射模塊
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM 或簡(jiǎn)易聯(lián)網(wǎng)能力
晶圓臨時(shí)鍵合Wafer Debonder的規(guī)格參數(shù)：
晶圓鍵合機(jī) wafer debonder系列
晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”
支持基板 玻璃
激光/UV/加熱器 可選
晶圓切割膜覆蓋 搭載
解鍵合機(jī)撕膜模塊 搭載
晶圓盒形式 兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他 SECS/GEM 或簡(jiǎn)易聯(lián)網(wǎng)能力
Wafer Debonder晶圓臨時(shí)鍵合相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
超薄晶圓支持系統(tǒng)/超薄晶圓臨時(shí)鍵合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/晶圓鍵合
