產品介紹
URE-2000/35光刻機 URE-2000/35光刻機價格 URE-2000/35光刻機廠家 廣恒生物供
URE-2000/35光刻機
采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和***曝光間隙，采用350W進口（德國）直流汞燈，可調節(jié)光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程度很高，操作十分方便。
產品介紹:
產品介紹:1．技術參數 曝光面積：4英寸曝光波長：365nm分辨力： （膠厚2 mm的正膠）對準精度：±1mm掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm掩模尺寸： 英寸、3英寸、4英寸、5英寸樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm 厚度 --6mm(可擴展為15mm)曝光方式：定時（***方式）和定劑量照明不均勻性： 5%（?100mm 范圍）雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學相當大倍數400倍，光學+電子放大800倍物鏡三對：4倍、10倍、20倍目鏡三對：10倍、16倍、20倍掩模相對于樣片運動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度汞燈功率：200W（直流）曝光能量密度：6mW/cm 2．外形尺寸：650mm（長）?600mm(寬) ?900mm（高）3．配置 （1）曝光頭 200W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)XYZ汞燈調節(jié)臺光學系統冷卻風扇 （2）對準工件臺掩模樣片整體運動臺掩模樣片相對運動臺轉動臺樣片調平機構,手動樣片調焦機構，手動承片臺3個（?50mm 、?75mm 、 ?100mm ）掩模夾4個（ 英寸、3英寸、4英寸、5英寸）掩模抽拉式上下機構（3）對準顯微鏡 光源（配備品2只）、電源雙目雙視場對準顯微鏡主體目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）CCD（臺灣）21寸液晶顯示器 （4）電控系統 汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)單片機控制系統控制機箱 （5）氣動系統氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等電磁閥驅動氣動儀表 （6）其他附件真空泵一臺管道（7）技術資料 使用維修說明書顯微鏡使用說明書
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