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半導體凈化工程中公用動力系統簡介，雅潔利為大家主要介紹六大系統。
半導體凈化工程中公用動力系統的主要相關參數如下：
（1）熱水系統（HotWater）
主要用于各類空調機的供熱，使用外購蒸汽來加熱。熱水溫度：送水溫度65℃，回水溫度40℃；加熱介質：蒸汽—消耗蒸汽量。
（2）工藝設備冷卻水系統（PCW）
主要用于生產設備發熱的冷卻，應用冷凍水進行降溫。系統流量：1600m3/h；系統溫度：送水溫度23℃，回水溫度26℃；冷卻介質：冷凍水——消耗冷凍機電量。
（3）干燥壓縮空氣系統（CDA）
主要用作精密的半導體工藝設備中氣動元件的驅動能源，CDA機組使用冷凍水降溫。供氣壓力： ；冷卻水溫度：送水溫度24℃，回水溫度30℃；冷卻介質：冷凍水（冷凍水降溫冷卻水）——消耗冷凍機電量。
（4）冷凍水系統（ChillerWater）
由5臺 ，3臺 的特靈三級離心式制冷壓縮機組提供整個制冷需求。冷凍水溫度：送水溫度6℃，回水溫度11℃——消耗冷凍機電量；冷卻水溫度：送水溫度32℃、回水溫度38℃——排放熱量。
（5）新風系統（OAC）
通過冷、熱盤管及多級過濾器等控制整個潔凈室環境的溫濕度和空氣潔凈度。
新風量：600000m3/h；新風平均溫度（冬季）：5℃；送風溫度：23℃；加熱介質：熱水——消耗蒸汽量；去濕介質：冷凍水——消耗冷凍機電量。
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