產(chǎn)品介紹
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度( )、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、相當(dāng)高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。