產品介紹
一、有效稀釋有害氣體的濃度。
半導體易產生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。因此半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或氧接觸時，會引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。
二、過濾、定期清洗真空泵及其他附件、管道，避免超壓。
半導體真空泵應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；如果是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化如果形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路系統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓， 點中提到的危險性也更大。因此需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。
三、避免溫度過高。
這點很容易理解，半導體真空泵應用中，有害氣體較多，而無論是干式真空泵還是油封機械泵，泵腔內溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就更容易發生危險。
四、注意氧氣濃度。
空氣中的氧如果濃度過高也會發生燃燒及爆炸風險。因此一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋，防止濃度過高；如果是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時更換油品與油濾。
珂勒曦螺桿真空泵，單極突破 極限真空泵，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。如果您對珂勒曦螺桿鼓風機感興趣或想了解更多信息，歡迎留言咨詢或撥打珂勒曦全國免費客服熱線：400-886-7766，期待您的來電。
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