產(chǎn)品介紹
干式真空泵-對于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當然，還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制，但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟的方法，當然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。
干式真空泵-現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點。一直以來，使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運行的穩(wěn)定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計為單級設(shè)計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。
綜合考慮，如果用戶認為耗電量對他來說zui為重要而氮氣用量對他來說不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來，對尾氣處理越來越嚴格的要求使得將來對減少氮氣的用量變得更重要。如果你希望用單一類型的泵不經(jīng)過改變來處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你zui好的選擇。
干式真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破 極限真空，可長時間運行，并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。
