產品介紹
在抽真空的過程中，一些機械真空泵在前期都有著較大的抽速，但是在接近極限壓力的時候，比如低于1Pa甚至更高的真空壓力時，其抽速就會大幅降低，達不到額定抽速。比如螺桿真空泵廠家的螺桿真空泵產品從大氣壓下到100Pa左右都可以保持近似滿抽速運行，但隨后抽氣效率就會逐漸降低，到1Pa真空度后，抽速會逐漸降至0。因此螺桿真空泵從大氣壓抽至百帕后，向極限 真空邁進的過程需要耗時很長。也就是說，達到一定真空度后會出現一個低抽速區，如果不提高吸入口的壓力，抽氣效率就會很低。
因此在這個壓力區間時，需要有一個能實現大抽速的真空泵，將真空室中的低壓氣體壓縮到適合的較高壓力，再進入到螺桿真空泵等前級泵的吸入口，以保證真空系統有穩定的抽速與較大的抽氣效率。因為增壓的這個過程，這個真空泵顧名思義就稱之為增壓泵。
而羅茨真空泵作為一種機械真空泵，在 ～100Pa區間范圍都有著很高的抽氣速率與效率，在這個增壓過程中就非常適合，因此應用中就被稱作為機械增壓泵。此外增壓泵除機械增壓泵外，還有是油增壓泵，原理類似于油擴散泵，但泵油有所區別。當然我們也可以看出，機械增壓泵工作于一定的壓力區間，無法單獨使用，必須與其他作為前級泵的機械真空泵配合，或者連接真空度更高的真空泵以及前級泵三者配合使用。
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