產(chǎn)品介紹
真空系統(tǒng)中金屬材料的出氣主要來自于兩個方面：一個是金屬材料表面吸附的氣體，另一就是金屬材料表面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的氣體。
金屬表面吸附的氣體包括物理吸附與化學(xué)吸附的兩種氣體。吸附的氣體在 條件會脫附（可在珂勒曦網(wǎng)站搜索脫附相關(guān)內(nèi)容），其表面氣體量的多少與表面狀況，如粗糙度、氧化層的性質(zhì)與厚度、污物的種類和數(shù)量等有關(guān)。表面越粗糙或形成疏松多孔的氧化層的，吸附的氣體量會顯著增大。通常金屬表面都會生成厚度為10～1000nm的多孔性氧化膜。面積1cm2，厚度為100nm的氧化膜可以吸附相當(dāng)于100個水分子層的水汽量（25℃時，一個分子層相當(dāng)于1cm2表面有1014個或10-3Pa·L氣體）。
金屬材料表面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的氣體。當(dāng)金屬加熱到600℃以上時，溶解在金屬體內(nèi)的各種雜質(zhì)（如金屬熔煉過程中的溶解的氣體、坩堝材料及添加劑等）原子會以不同的速率向表面擴散。它們會在表面復(fù)合成分子，或與表面氧化膜作用，生成CO、CO2、H2O、H2、N2及CnHm等并脫附到真空容器空間中。化學(xué)反應(yīng)生成氣體的種類和數(shù)量與反應(yīng)物的種類和濃度有關(guān)。像CO、CO2是由金屬材料體內(nèi)擴散到表面的碳原子與表面氧化物或氣相中的氧氣和水反應(yīng)而生成的。常見的鐵、鎳的等出氣量就與其含碳量有密切關(guān)系。如表面氧化層及氣相中的氧大于金屬體內(nèi)碳和氫的含量，則其表面反應(yīng)造成的出氣過程將一直持續(xù)到碳、氫耗盡為止。
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