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一、真空泵配件常見的失效情況

1、磨損

磨損是真空泵配件常見的一種失效模式，一種是在有潤(rùn)滑條件下，零部件之間接觸表面的摩擦磨損，常發(fā)生在齒輪、缸體、葉片、轉(zhuǎn)子滑動(dòng)軸承、滾動(dòng)軸承中。這類磨損速度緩慢，磨損失效主要與潤(rùn)滑、密封條件有關(guān)。另一種是在無潤(rùn)滑條件下，零件相互摩擦或物料對(duì)零件表面摩擦所造成的磨損，這在真空泵中尤其突出。如聯(lián)軸器、2X泵的皮帶輪、螺桿真空泵的雙螺桿等等。這類磨損速度比前者快得多，主要與金屬材料性能與物料性質(zhì)有關(guān)。對(duì)于油式真空泵來講，潤(rùn)滑中的磨損尤為突出，大多由于真空泵油變質(zhì)，以及外來雜質(zhì)導(dǎo)致潤(rùn)滑不暢導(dǎo)致。

2、疲勞破斷

疲勞是一種失效機(jī)理，產(chǎn)生裂紋是一種失效模式。它們常常后導(dǎo)致零件的破斷。這種疲勞破斷失效過程一般都存在于受交變負(fù)荷的輪齒件中。常見于聯(lián)接螺栓、地腳螺栓、彈簧等零件，也會(huì)發(fā)生齒輪傳動(dòng)軸等重要零件中。疲勞破斷所牽涉的因素很多，需要針對(duì)失效零件作具體分析，找出原因采取對(duì)策。

3、變形

變形也是真空泵零件常見的一種失效模式。由于泵浦在高速運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生一些的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態(tài)，易發(fā)生。逐步產(chǎn)生的塑性變形，不能恢復(fù)零部件原有的幾何尺寸與形狀，嚴(yán)重時(shí)將造成設(shè)備故障。如密封圈，油封等。

4、腐蝕

腐蝕是真空泵零件失效的又一種模式。常見于工藝較為復(fù)雜的PCB，化工等工況下運(yùn)行的真空泵中。

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