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東莞市礫石實業(yè)投資有限公司坐落于東城街道渦嶺工業(yè)路8號419室，是一家可靠生產(chǎn)、銷售碳化硅陶瓷密封圈的有限責任公司，是可靠的生產(chǎn)型企業(yè)。礫石實業(yè)一直秉持著“用戶至上”的原則來生產(chǎn)碳化硅陶瓷密封圈，質量可謂收到了工業(yè)陶瓷使用人群的一致認可，在廣泛銷售。

性價比高的碳化硅陶瓷密封圈，

靶材的主要性能要求

純度

純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質含量

靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如，半導體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結構，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

作為一家集碳化硅陶瓷密封圈設計、生產(chǎn)、銷售于一體的礫石實業(yè)初步建立了覆蓋全國的營銷服務網(wǎng)絡，在廣東省及周邊地區(qū)擁有廣闊的銷售市場，采用陸運的物流方式，將碳化硅陶瓷密封圈廣泛銷售于全國各地。礫石實業(yè)注重和客戶發(fā)展長期關系，也正是由于這種穩(wěn)健的作風和積極進取的精神贏得廣大工業(yè)陶瓷使用人群的信賴。

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