激光器特點 l  長期工作穩定性高 l  RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制 l  支持PWM功率控制 l  LD模塊可現場更換 l  TEM00基模輸出（M2<1.3） l  體積小，結構緊湊 l  重復頻率30kHz-100kHz可調 應用范圍 l  薄膜蝕刻 l  材料微加工 l  微孔加工 l  晶圓切割 l  科學研究等 l  激光標記 技術參數 型號 LASER355-3W 波長 355nm 功率 3W@30KHz 單脈沖能量 100μJ@30kHz 頻率 30~100kHz 脈寬 <20ns@30KHz 光斑模式 TEM00 (M2<1.3) 光束直徑 0.5±0.1mm 功率穩定性 <3% RMS over 8 hours 脈沖穩定性 <3% RMS over 10mins 光點穩定性 <50μrad 光束發散角 <2mrad (full angle) 光斑圓度 >90% 控制方式 RS232, Gate, Trigger 制冷方式 Air-cooling 偏振方向 Horizontal 偏振比 >100:1 環境溫度 15°C ~ 35°C 相對濕度 10% ~ 80%（無結露） 預熱時間 <15mins 工作電壓 90V ~ 260V