產品名稱 VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀 產品型號 VTC-16-3HD 安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用. 1、水：不需要 2、電：AC220V50Hz,有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氣氣（純度99.99%以上），需自備氛氣氣瓶（帶壓減閥） 4.工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 5、通風裝置：不需要 主要參數 1、輸入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵) 2、輸出功率：1600VDC50mA 3、石英置：0160mm×120mm 4、樣品臺：050mm(可選購加熱型樣品臺，溫度可到500℃：濺射時間不可超過5min) 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 7、靶材：尺寸直徑047mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni 產品規格 尺寸：360mm×350mm×3600mm; 重量：50kg 可選配件 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺