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ITO薄膜具有高透射率、低電阻率的特性，在顯示器件中常用作透明電極。ITO玻璃基板表面的清潔程度，直接影響到液晶顯示器件生產(chǎn)的成品率；對于OLED器件，lTO薄膜表面狀態(tài)的影響更大。其清洗方法及表面處理工藝都將影響到ITO薄膜的特性，如化學(xué)組成、ITO表面的功函數(shù)、ITO薄膜和有機(jī)層的接觸特性等，進(jìn)而影響OLED的性能。因此ITO玻璃基板的清洗，要求能除去微米量級的粒子和所有的有機(jī)、無機(jī)化學(xué)物質(zhì)及污跡、水跡等污染物，并要求清洗后的ITO薄膜具有良好的親和性。

目前經(jīng)常用于ITO玻璃表面處理的方法有：化學(xué)方法(酸或堿處理)和物理方法(機(jī)械拋光、熱處理、氧等離子體處理、氧輝光放電及臭氧環(huán)境紫外線處理等)。本文采用的是干冰顆粒噴射清洗技術(shù)。1986年提出將此方法用于表面清潔。之后W.Gerristead等人對2英寸單晶硅基片進(jìn)行干冰顆粒噴射清洗，清洗前后硅片上的雜質(zhì)顆粒由538000／cm2減少到342／cm2，減少程度達(dá)99.9％；經(jīng)x光電子能譜(XPS)測量，清洗前后的基片表面上碳?xì)浠_物的含量降低了25％～30％。此外，干冰顆粒噴射清洗法用于金屬、陶瓷、光學(xué)器件、聚合體表面、CMOS圖像傳感器也取得了很好的清洗效果

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迪史潔干冰雪噴射清洗在傳統(tǒng)的光刻微芯片生產(chǎn)中也得到了證明。在芯片有限公司，它被用于生產(chǎn)各種應(yīng)用的磁阻傳感器。公司成立了公司2雪噴射技術(shù)在制造用于磁共振傳感器的三維微芯片中作為傳統(tǒng)濕化學(xué)清洗的有效且環(huán)保的替代物。這些通常需要用超純介質(zhì)進(jìn)行昂貴的沖洗過程。二氧化碳干冰技術(shù)去除了金屬化后在導(dǎo)電路徑邊緣形成的所謂柵欄。然后可以將下一個(gè)結(jié)構(gòu)應(yīng)用到硅晶片上。

CO2雪花清洗系統(tǒng)因?yàn)榧词故切〉牧黧w介質(zhì)殘留物也會(huì)影響微電子元件的功能或保護(hù)涂層的粘附性，所以這些也需要可靠地去除。哥倫比亞2雪為清潔和提高保護(hù)涂層的附著力提供了一種經(jīng)濟(jì)、無殘留的解決方案。同時(shí)，該工藝還能夠選擇性地處理特定部分，如粘合和接觸區(qū)域。

迪史潔干冰雪噴射清洗在傳統(tǒng)該工藝還為射頻識別應(yīng)用的微芯片封裝提供了解決方案。組裝前，半導(dǎo)體由夾具放在一個(gè)特殊的料盒中。在此過程中，機(jī)器人會(huì)產(chǎn)生足夠的氣流，這可能會(huì)導(dǎo)致將極輕的芯片從包裝中取出。為了防止這種情況，芯片被從封裝后部施加的真空壓住。為此，鉆一個(gè)小孔，并清除鉆孔產(chǎn)生的殘留物。哥倫比亞2雪噴射清潔擅長于這一特殊過程。

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CO2雪花清洗系統(tǒng)當(dāng)這些動(dòng)作在幾分之一秒內(nèi)發(fā)生時(shí)，可以非?？焖俚厍逑春腿ッ桃r底，同時(shí)仍然產(chǎn)生可再現(xiàn)的結(jié)果。在清潔過程中，二氧化碳完全轉(zhuǎn)化為氣體，基材立即干燥，因此無需進(jìn)行常規(guī)濕化學(xué)工藝所需的高能耗干燥過程。CO2雪噴技術(shù)還消除了與非常窄的工藝窗口相關(guān)的風(fēng)險(xiǎn)，例如在傳統(tǒng)工藝中出現(xiàn)的那些，例如電拋光:如果處理時(shí)間太短，則不能可靠地去除微小毛刺。如果插管放在浴缸里太久，頂端會(huì)變鈍。該方法的其他優(yōu)點(diǎn)包括不需要化學(xué)物質(zhì)，不產(chǎn)生廢水，也沒有需要處理的溶劑。

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液態(tài)二氧化碳被引導(dǎo)通過CO2雪花清洗系統(tǒng)的無磨損雙組分環(huán)形噴嘴，并在排出時(shí)膨脹形成細(xì)小的二氧化碳水晶。然后，它們被壓縮空氣的環(huán)形夾套射流捆綁在一起，加速到超音速。這項(xiàng)專利技術(shù)了均勻的清潔效果，即使在使用多個(gè)噴嘴的大表面上也是如此。

雪和壓縮空氣的噴射溫度為零下78.5攝氏度，可以聚焦在需要的地方。當(dāng)它撞擊要清潔的表面時(shí)，會(huì)發(fā)生熱、機(jī)械、升華和溶劑效應(yīng)的組合。這四種清潔機(jī)制使CO2雪花清洗系統(tǒng)能夠清除薄膜污染物，如冷卻潤滑劑、加工油、拋光膏、分離劑和硅的殘留物，以及微粒污染物，如碎片、灰塵和磨損。由于清潔步驟使用不可燃、無腐蝕性和的一氧化碳2雪對材料也很溫和，即使是精細(xì)結(jié)構(gòu)的表面也可以處理。

服務(wù)是單向的，溝通是雙向的，切實(shí)滿足客戶先在的和潛在的需求，提倡給客戶更多的感動(dòng)。迪史潔（上海）清洗設(shè)備有限公司重合同，守信用，維護(hù)企業(yè)好名譽(yù)。衷心期望著與各位朋友互信互助、共同發(fā)展。良好的銷售是打開市場的金鑰匙。我司努力開拓市場，擴(kuò)大銷售范圍，進(jìn)一步向客戶提供更優(yōu)異的二氧化碳雪花設(shè)備和服務(wù)。歡迎來電，愿與廣大新老客戶攜手共創(chuàng)美好的明天。

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