產(chǎn)品介紹
● 產(chǎn)品介紹電子級(jí)雙氧水主要應(yīng)用于LCD、太陽(yáng)能硅片蝕刻清洗工藝等UP級(jí)：適用1微米集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質(zhì)含量小于10ppb,經(jīng)過(guò)0.2微米孔徑過(guò)濾器過(guò)濾，控制0.5微米粒子,在100級(jí)凈化環(huán)境中灌裝,達(dá)到SEMI C7標(biāo)準(zhǔn)。EL級(jí)：金屬雜質(zhì)含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達(dá)到SEMI C1 C2標(biāo)準(zhǔn),適合中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝 。● 產(chǎn)品指標(biāo)● 產(chǎn)品包裝IBC 噸桶、ISO TANK
